खोखला रोटरी अर्धचालक तालिका

खोखला रोटरी सेमीकंडक्टर टेबल का होत है?

एक खोखला रोटरी सेमीकंडक्टर टेबल एक अल्ट्रा-प्रिसिजन रोटरी पोजिशनिंग प्लेटफॉर्म है जेहिमा एक केंद्रीय थ्रू-बोर है, जेका क्लीनरूम सेमीकंडक्टर निर्माण मा वेफर हैंडलिंग, निरीक्षण अऊर प्रसंस्करण उपकरणन के लिए विशेष रूप से इंजीनियर कीन गा है। खोखला केंद्र वैक्यूम लाइन, विद्युत वायरिंग, या ऑप्टिकल सेंसर केबल का घूर्णन अक्ष से गुजरै के अनुमति देत है, जेहिसे बाहरी केबल रूटिंग के बिना साफ, कम-कण एकीकरण सक्षम होत है जवन संदूषण या पहनने से संबंधित मलबा का पेश कइ सकत है।

रूप

तालिका एक हल्का, कम-आउटगैसिंग वर्कटेबल सतह के नीचे एक कम-कण, प्रत्यक्ष-ड्राइव या परिशुद्धता कमी चरण (अक्सर टॉर्क मोटर या हार्मोनिक-संचालित) का एकीकृत करत है, जेका उच्च-सटीकता न्यूनतम क्रॉस- रोलर बेयरिंग रनआउट कंपन अऊर कंपन के लिए समर्थित करत है। केंद्रीय बोर ड्राइव अऊर टेबल के माध्यम से संकेंद्रित रूप से चलत है, जेहिसे वैक्यूम चकिंग लाइन या वेफर सेंसर केबल बाहरी रूटिंग के बिना गुजर सकत हैं। सब-आर्कसेकंड रिज़ॉल्यूशन वाले एनकोडर आम तौर पर बंद-लूप पोजिशनिंग फीडबैक के लिए एकीकृत होत हैं।

चयन विचार

प्रमुख कारकन मा बोर व्यास, स्थिति सटीकता अऊर दोहराव (उप-माइक्रोन/आर्कसेकंड स्तर), क्लीनरूम वर्गीकरण संगतता, कण उत्पादन दर, सामग्री अऊर स्नेहक के आउटगैसिंग विशेषता, मरोड़ कठोरता, अनुमेय भार अऊर निपटान समय शामिल हैं। कंपन भिगोना अऊर तापीय स्थिरता विशेष रूप से महत्वपूर्ण हैं काहे से कि तापीय बहाव या माइक्रो- कंपन वेफर संरेखण सटीकता से समझौता कर सकत है।

आवेदन

खोखला घूर्णी अर्धचालक तालिकाओं का उपयोग वेफर प्रीएलाइनर, निरीक्षण अऊर माप विज्ञान प्रणालिन, डाई बॉन्डिंग उपकरण अऊर लिथोग्राफी स्टेज पोजिशनिंग मा कीन जात है जहां प्रक्रिया अखंडता के लिए क्लीन पास-थ्रू रूटिंग के साथ संयुक्त अल्ट्रा-सटीक घूर्णन संरेखण आवश्यक है।

स्थापना विचार

संदूषण का रोकै के लिए स्थापना एक नियंत्रित क्लीनरूम वातावरण मा होवे के चाही। बोर के माध्यम से रूट कीन गा वैक्यूम अऊर विद्युत लाइनन का केबल फ्लेक्सिंग से कण उत्पादन से बचे के लिए सुरक्षित तनाव राहत के आवश्यकता होत है। माउंटिंग सतहन का एक क्रॉस पैटर्न मा सटीक रूप से समतल अऊर टॉर्क कीन जाय का चाही, अऊर उत्पादन उपयोग से पहिले एनकोडर कैलिब्रेशन, कंपन स्तर अऊर कण-शेडिंग का सत्यापित कीन जाय का चाही।

इहाँ यहि पृष्ठ मा, हम खोखला रोटरी सेमीकंडक्टर तालिका TMN130,

आप डेटा शीट, उत्पादन चित्र, परीक्षण के वीडियो निम्नलिखित रूप से देखब:
साथै आपका अउर परियोजना देखै या यूट्यूब द्वारा हमार वीडियो गैलरी देखै का स्वागत है:https://www.youtube.com/@टॉलमैनरोबोटिक्स

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न:

1. खोखले रोटरी टेबल के खोखले एपर्चर के सामान्य आकार का हैं?

आम एपर्चर विनिर्देश: मुख्यधारा के खोखले घूर्णन प्लेटफार्मन का खोखला एपर्चर 10 मिमी से 600 मिमी तक होत है, जेहिमा विशिष्ट मॉडल जइसे 28 मिमी, 33 मिमी, 62 मिमी, 100 मिमी, 150 मिमी अऊर बड़ा एपर्चर मॉडल 600 मिमी से अधिक तक पहुँचत हैं

2. खोखले रोटरी टेबल के प्रदर्शन पर खोखले एपर्चर के आकार का का प्रभाव पड़त है?

प्रदर्शन पर एपर्चर का प्रभाव: एपर्चर जेतना बड़ा होई, प्लेटफार्म के कठोरता ओतना ही कमजोर होई। एक अत्यधिक बड़ा एपर्चर अपर्याप्त दीवार मोटाई अऊर असमान तनाव का जन्म दे सकत है, जेहिसे भार-असर क्षमता अऊर झुकाव अऊर मरोड़ प्रदर्शन कम होइ जात है, जेसे परिचालन सटीकता अऊर स्थिरता प्रभावित होत है। डिजाइन के दौरान दीवार के मोटाई से एपर्चर के अनुपात का कड़ाई से नियंत्रित करा।

3. खोखली संरचना के भीतरी दीवार के सामग्री का है अऊर का ई पहनने प्रतिरोधी है?

आंतरिक दीवार सामग्री अऊर घिसाव प्रतिरोध: आंतरिक दीवार सामग्री प्लेटफार्म शरीर के अनुरूप है, आमतौर पर एल्यूमीनियम मिश्र धातु, कच्चा लोहा, मिश्र धातु स्टील, आदि का उपयोग करत है। आंतरिक दीवार आम तौर पर सीधे उच्च - आवृत्ति घर्षण का सहन नहीं करत है, लेकिन अगर केबल या वेंटिलेशन पाइप का धागा लगावै के जरूरत है, तौ सतह कठोरता, एनोडाइजिंग अऊर अन्य उपचार घिसाव अऊर जंग प्रतिरोध में सुधार करै के लिए उपयोग कीन जा सकत है।

4. का खोखला संरचना थ्रेडिंग, ट्यूबिंग या वेंटिलेशन कार्यन का समर्थन करत है?

कार्यात्मक समर्थन: खोखला संरचना पूरी तरह से थ्रेडिंग, पाइपिंग अऊर वेंटिलेशन का समर्थन करत है। केबल, एयर पाइप, ऑप्टिकल फाइबर, कूलेंट पाइप अऊर लेजर बीम सब खोखला छेद से गुजर सकत हैं, जेसे घूर्णन गति के दौरान पाइपलाइन उलझन के समस्या का प्रभावी ढंग से हल कीन जा सकत है।

5. बड़े एपर्चर खोखले रोटरी टेबल के संरचनात्मक ताकत कैसे सुनिश्चित कीन जाय?

बड़े एपर्चर संरचनाओं के ताकत सुनिश्चित करै के उपाय: 1 उच्च-शक्ति मिश्र धातु स्टील या कच्चा लोहा सामग्री का उपयोग करा, 2 कठोरता बढ़ावै के लिए उच्च-सटीक क्रॉस रोलर बेयरिंग का उपयोग करा, 3 एपर्चर के दीवार के मोटाई के अनुपात का कड़ाई से नियंत्रित करा, ④ सुदृढीकरण लेआउट के तनाव का अनुकूलित करा, असेंबली प्रक्रियाओं का मानकीकृत करा अऊर परिवहन के दौरान ओवरलोडिंग अऊर विचलन से बचा